9月20日,走进山西转型综改示范区潇河新兴产业园区山西华芯半导体晶体材料产业基地二期项目,总占地面积2.32万m²的3幢现代化厂房已拔地而起,项目基建竣工,设备即将进场安装。该项目是是山西省重点工程,也是山西省大力实施的全产业链培育工程——第三代半导体产业链强链工程,对全省转型发展具有重要意义。该项目集半导体晶体材料的研发、加工、销售于一体,计划总投资5.02亿元,分两期建设。
“一期2022年建成投产,二期厂房竣工,设备即将进场,整个基地从无到有离不开山西转型综改示范区的大力支持。”山西华芯半导体晶体材料产业基地负责人介绍,项目全部投产后,将持续加强技术攻关,助力我省打造国内领先的半导体材料产业基地。
“二期项目主要用于多种半导体化合物材料的研发、生产及加工,将布局大尺寸蓝宝石生长加工项目、军工大尺寸透明装甲单晶生产研发项目、第三四代半导体化合物晶体研发、生长及晶体加工项目。项目全部达产后,可实现年产720万片半导体晶片衬底,实现中高端半导体化合物材料覆盖。”山西华芯半导体晶体材料产业基地负责人介绍。
山西华芯半导体产业基地是山西转型综改示范区引进的新材料项目。2023年年初,该项目一期首颗大公斤级蓝宝石晶体成功取晶。据了解,目前应用的是大公斤级的晶体,一个生长周期一般是11天至13天,生长的过程就是把氧化铝原料放到单晶炉内,升温至2100℃,晶体在晶种上慢慢生长,生长到规定的公斤数。目前蓝宝石晶体已经成功实现量产。
蓝宝石晶体是现代工业重要的基础材料,其主要产品为半导体晶圆衬底,应用领域为LED显示芯片,尤其是MiniLED、MicroLED等高端显示类产品,也广泛应用于消费类电子和高端光电窗口。该项目落地以来,山西转型综改示范区各相关部门、园区积极服务企业,解决企业在项目建设和生产经营中遇到的难题,支持企业发挥产业链优势,不断延伸产业链、提升价值链,打造国内先进的半导体产业集群。